高溫四探針測(cè)試儀運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn),利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
高溫四探針測(cè)試儀操作步驟:
1、先松開(kāi)筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲,輕輕脫下尾部航空插口,保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn),防止扭線斷線,短接;
2、輕輕擰開(kāi)探針頭子,然后小心將銅片拉出,記住七片絕緣片與銅片之間的位置,將斷針從銅片卡口座里取下即可;
3、特別注意一定不能位置錯(cuò)亂,位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列,并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列,以免短接;
4、安裝時(shí)絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子,并先將探針頭子擰緊,再將尾部航空頭插上,并且旋緊小螺絲;
5、將針裝好,注意針頭針尾方向,尖頭為探針頭部。
注意事項(xiàng):
1、操作高溫四探針測(cè)試儀前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū),規(guī)范操作
2、輕拿輕放,避免儀器震動(dòng),水平放置,垂直測(cè)量
3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源,連接線無(wú)需經(jīng)常拔下,避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測(cè)試結(jié)束,套好護(hù)套,避免人為斷針